プラズマ洗浄装置には3つの効果があります

フィルムや金属箔の表面には、油脂・残油・その他の汚れが付着しているためプラズマ洗浄装置を使ったクリーニングが欠かせません。

金属箔の中でもアルミニウムは、圧延工程を繰り返すことで金属箔になる関係から表面には圧延油と呼ばれる油膜が残ります。油膜が残った状態で次工程の塗装を行うと、塗りムラが生じてしまい品質を保つことが難しくなります。このとき、ウェット洗浄もしくはアニール処理で油膜を取り除くことができるのですが、次工程のジェット噴射や乾燥の中で完全な除去はできませんしアニール処理では材料の軟化が生じるなど素材は限定されることも少なくありません。

後工程をより円滑に行うことができるのも、プラズマ洗浄装置を使ったメリットの一つです。プラズマは、原子核と電子と同じように原子や分子が刺激され、プラスとマイナスの電気を持つ粒子群にわかれ激しく移動する状態そのものを意味するものです。激しく動き回る粒子群は、材料の表面にこびりついている汚れをイオンが根こそぎ落とし次工程の塗装作業やジェット噴射および乾燥で生じる問題を解決するなどのメリットに繋げることができます。

プラズマ洗浄装置を使うことで表面の汚れが取り除けるわけですが、プラズマ処理の効果は洗浄だけでなくアンカー効果や表面の改質などの効果も期待ができます。アンカー効果は、基板表面の密着性を高める効果で、プラズマにより作られた電荷を持つエネルギーが表面を滑らかにしエッチング加工の安定性を図ることが可能になります。

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