プラズマ洗浄装置の特徴とは

プラズマ洗浄装置は粉状のものやミクロのもの、また電子デバイスの親水化もできます。

ボトル型の装置も大型の装置もありますが、どちらもそのプラズマで撹拌することによって親水性を付加することができます。小型のものは高周波の使用申請をする必要はありませんし、ポンプも本体中に内蔵されています。操作方法についてはスタートボタンを押すだけです。電子基板やプラスチック、金属など材質や形状を問わず、どんなものも処理できる大きめのものもあります。可能な処理はプラズマクリーニングや親水性の改善、表面改質などです。パウダートリートメントやレジストアッシングも可能です。低気圧のプラズマ洗浄装置も紹介しましょう。

これは真空下で処理を行う装置です。酸素プラズマによる表面の有機物除去や親水性の改善、さらにアルゴンプラズマによる酸化膜除去をすることができます。その他、フッ素を使うエッチングもできます。一方、大気圧のプラズマ洗浄装置はノズルの電極部に高電圧フィールドを作って、そこを通るガスをプラズマ化するといった装置です。

エアーまたアルゴンガスの気流でプラズマを空気中に照射します。照射により親水性改善やクリーニングを行うことができます。大気圧のプラズマ洗浄装置の特長として、工場ラインに設置することができる、オンライン制御はできるなどが挙げられるでしょう。エアーを用いるプラズマのランニングコストは安いですし、メンテナンスも容易です。

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