次世代の洗浄、プラズマ洗浄装置

プラズマ洗浄とは、汚れ大敵な産業においてはとても重要な役割を担っています。

従来の洗浄では、洗浄能力に限界があったり、化学洗浄をするときに洗剤の跡が残り、後にすすぎや乾燥をしても表面に洗剤の跡が残ったりという問題がありました。そこでプラズマ洗浄により、有機物フリーの洗浄が実現可能になりました。液体では入り込むことのできない、わずかな隙間にも浸透する事ができるようになり洗浄可能となったのです。洗浄する流れとしては、プラズマによって形成された荷電粒子を含むエネルギーが、有機汚染物質の結合を分解させて除去します。また同時に形成された酸素ラジカルが有機汚染物質と化学的に結合し、二酸化炭素や水などの揮発性物質に分解反応させて汚染物質を除去します。

そこで登場するのが、有機物をプラズマで処理する洗浄装置である、プラズマ洗浄装置です。完全ドライ処理を目的としています。そして汚れまたは異物といっても、一言では言えず、業界によって汚れまたは異物の範囲が異なり、金属箔業界なら残油、フィルム業界ならブリードアウトや埃など、付着異物や油膜といった性質が色々と異なります。それらに、ほぼ問題なく対応するのがプラズマ洗浄装置になります。他にも、近年ではスマートフォンなどの端末に搭載される半導体や電子部品の小型化や集積化が進んでいるのに伴い、多くの機能を一つのチップに組み込むために3次元構造などが採用されています。小さく複雑になるチップを洗浄するためにプラズマ洗浄装置は求められています。さらに、スマートフォンだけでなくIoTやAIといった新しいテクノロジーはドンドンと進化しデバイスの小型化や集積化が進むと想定されます。そうなると益々、高度なプラズマ洗浄装置の要望は増えていくと予想されてもおかしくありません。

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