注目を浴びているプラズマ洗浄装置の仕組み

注目を浴びているプラズマ洗浄装置で使われるプラズマについて説明していきましょう。

世界に存在する物質は温度が高まると、固体から液体、気体に変わります。気体に何らかのエネルギーをかければ液体や固体、気体に続く状態になります。その状態がプラズマです。酸素ラジカルもプラズマ洗浄装置で使われるものです。これは電離現象により不対電子というものができて酸素ラジカルになります。このラジカルは非ラジカル種と呼ばれるものに反応する時、その電子とくっついて安定します。非ラジカル種と反応した後、新しい酸素ラジカルが生じます。新しく生じた酸素ラジカルも電子とくっつき反応が進みます。

プラズマエネルギーと酸素ラジカルを活用すれば、電子基板を洗浄したり表面を改質したりすることが可能です。プラズマ洗浄装置はこの特徴を活かしたものです。低圧プラズマと大気圧プラズマがプラズマ洗浄装置にはあります。大気圧下でプラズマを発生させるものが大気圧プラズマによる装置です。これは真空状態の環境を必要としませんし、低圧プラズマよりイオン密度が高いです。低圧プラズマに関しては真空状態の環境が必要ですが、その容器内の分子密度が低いためガスの導入は不要というメリットがあります。ガス導入しなくてもプラズマが生じます。電極の間を離してもプラズマをワークに照射すること可能なこともメリットとかもしれません。ワークの形状に依存しないということです。

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