プラズマ洗浄装置は表面洗浄から精密洗浄まで対応可能

プラスチックパッケージや液晶基板にハイブリッドICの表面をクリーニングしたり各種改質につなげたりしたいときに活躍するのは、バッチ式平行平板型プラズマ洗浄装置です。

プログラムで目的ごとに処理を区切りながら実行していくことができるから、丁寧かつ要領よく作業を進めていくことができますし、どんな基板の形状でも複数枚処理できる性能の高さがあるとさらに便利です。処理モードが複数できるようになっている場合、基板に応じて切り替えすることを忘れてはいけません。シェルフ型電極棚によって差し込み位置を変え、プラズマモードを切り替えられるプラズマ洗浄装置の使い勝手をもっとよくするためには、電極棚の追加を検討したほうがいいでしょう。多段処理が必要なければもともとあるものだけで問題ありませんが、不足を感じるなら追加して多段処理をしていくべきです。

操作はタッチパネルによる自動運転でとても簡単ですが、初めてプラズマ洗浄装置導入して使用するときには、納入してくれた販売店にお願いし、デモンストレーションあるいは実技指導をお願いするといいでしょう。早期に新しい装置になれることができますし、疑問や不安などを払拭する機会にもなります。コンパクト設計タイプのプラズマ洗浄装置でも、それほど能力不足になるということはなくなってきていますが、処理のスムーズさを考えて導入が必要です。また、コンパクト設計は卓上型としてつくられる事が多いので、導入するときには作業台など適切な台の準備が必要でしょう。

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