基板のクリーニングはプラズマ洗浄装置

基板の製造中には、表面のクリーニングが必要なところがあります。

回路のパターンを樹脂版に接着したり、絶縁剤を塗布するなどの工程でさまざまな残留物が残ってしまうことになります。破損する恐れもあるので、表面を拭き取ることもできないことや液体による戦場は水垢などが残ったり、乾燥する時間が必要にあるなどの問題があります。そこで有効に利用できるのがプラズマ洗浄装置です。基板表面の清潔度は、その後の工程にも影響し、不良の原因にもつながります。

そのためできる限りの残留物の除去が重要となります。基板自体の品質を損なわないようにしながら汚れだけを除去するためにプラズマを利用するのが、プラズマ洗浄装置です。ドライでクリーニングできるので水垢の残留や乾燥時間などの問題がありません。プラズマ洗浄装置は、庫内をガスで充満させて高周波の電界を印加すると発生させることができるプラズマを利用します。プラズマは高エネルギーで強い活性化が見られるため、金属や樹脂、ゴムやガラスの表面に付着している残留物に対して働きかけて化学反応を発生し、物理的に除去します。

付着しているものだけに選択的に効果があるので、基板自体が破損するようなことがありません。クリーニングが終わったら乾燥などの処理が不要なので、すぐに次の工程に進めることができます。工程の処理スピードを低下させることなく、品質を向上することができます。不良率が下がればコスト削減にもつながります。

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