プラズマ洗浄装置とは

プラズマ洗浄装置というのは、プラズマによって形成されたエネルギーで基板表面上の汚染物質の結合を分解することで洗浄を行う装置の装置です。

また、形成された酵素ラジカルが有機汚染物質と化学的に結合することで二酸化炭素や水などの揮発性物質に姿を変え、汚れを除去することもできます。なお、このプラズマ洗浄装置の洗浄力のカギとなるプラズマというものがどのようなものかを知らない方も多いかもしれません。しかし、その正体は決して難しいものではありません。物質の状態と聞くと、温度上昇と共に固体から液体、液体から気体にその姿を変えることは誰もがご存知のことでしょう。その一番高温状態である気体に連続的にエネルギーを食えることで発生する状態が、「プラズマ」です。そのため、その存在は液体や固体、気体に続く第4の状態と言われています。

そんなプラズマ洗浄装置は、プラズマを発生させる仕組みの違いによって低圧と大気圧の2種類に分類できます。低圧については真空環境が必須となりますが、ガスを導入しなくともプラズマの発生が可能です。一方で、大気圧タイプについては真空環境が必要としないものの、電極間の距離を短くする必要があるので照射距離に制限があります。さらに、その発生に際しては希ガスや酸素などのガスが必須です。このようにプラズマ洗浄装置と一言で言ってもそのプラズマの発生方法を含め、その詳細の仕様は装置によってさまざまです。違いを理解したうえでニーズにあったものを使用しましょう。

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