プラズマ洗浄装置について

プラズマとは電離によって生じた荷電粒子を含む気体のことで、固体・液体・気体に続く第4の状態です。自然界ではオーロラ、稲妻、太陽などがプラズマであり、宇宙を構成する99%以上がプラズマであると言われています。人工的に使われているものには放電現象として蛍光灯などの照明器具やプラズマ処理器、洗浄装置などの加工技術として利用されています。電離によってできた不対電子は酸素ラジカルとなり、共有電子対を形成していない酸素ラジカルは次々と標的分子から電子を奪い取るため、反応が連鎖的に進行します。

このときのプラズマによるエネルギーと酸素ラジカルにより基板の洗浄・表面改質が行われます。これを利用したのがプラズマ洗浄装置です。このようにプラズマ洗浄装置は基板の表面に付着している有機物をプラズマで処理するクリーナーで、チックパッケージやリードフレーム、液晶基板のクリーニングなどの完全ドライ処理を目的としています。フィルムや金属箔の表面を改質し、油膜、残油、汚れを洗浄します。

メリットとしては、高い洗浄力はもちろん、高い浸透力、低い作業コスト、環境に優しいプロセスであることなどたくさんあります。大部分のプラスチック、メタル、ガラス、ゴム、セラミックスなど、真空状態およびプラズマに耐久性を持つ素材がプラズマ洗浄に適しています。反対に、真空およびプラズマの発生を妨げる素材(シリコンや布など)は適していません。プラズマ洗浄装置は、簡単に落とせない汚れを落とすのに最適だといえます。

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