プラズマ洗浄装置とは?

そもそもプラズマとは何でしょうか。プラズマとは個体、液体、気体に続く第四の状態と言われています。プラズマは、気体に連続的なエネルギーを加えることで発生する状態をプラズマと言います。プラズマ洗浄装置とは、プラズマという電気の粒子を使用して基板の表面やディスプレイに使用されるフィルム表面の汚れを落とす装置です。

プラズマには、洗浄・アンカー効果・表面改質という3大効果があります。アンカー効果とは、基板などの表面をプラズマ処理することで、緻密な凹凸を作り基板表面の密着性を高めます。表面改質とは、プラズマ照射により濡れ性を向上することができます。これにより塗料が基板の表面に乗りやすくなります。

プラズマ洗浄装置は主に半導体製造装置に用いられ、基板の表面を洗浄・改質することにりはんだが乗りやすくなったり半導体の接地性がよくなります。プラズマ洗浄装置の応用例は、プラスチックパッケージの洗浄、液晶基板などの表面クリーニング、光学部品などの精密洗浄、繊維や高分子材料などの表面処理などがあります。すなわち、精密機器メーカーから光学メーカー、繊維メーカー、プラスチック樹脂メーカなど現代で使用されるあらゆる製品に関わっていると言っても過言ではありません。コンピューター、医療機器、自動車、飛行機など、これらに使用される小さいな部品にもプラズマ洗浄装置が使用されています。

最近では、プラズマという言葉がテレビのコマーシャルなどでも使用されているので、プラズマについて少し知っておくとよいと思います。

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