高機能のプラズマ洗浄装置

スマートフォンやウェアラブル端末などに搭載する電子部品また半導体は小型化していますし、複雑にもなっています。そのチップの洗浄には高機能のプラズマ洗浄装置が必要です。表面処理の技術を導入して製造されたものは高機能のプラズマ洗浄装置と言うことができるでしょう。この機器はプラスチックのパッケージまた基板を表面洗浄できます。

さらに改質やアッシングも可能です。例えば平行平板方式のプラズマ洗浄装置がありますが、その原理は反応室という所にガスを入れて減圧された状態を保つといったものです。その状態で電極の間に特殊な高周波を加えてプラズマを作り出し、そのプラズマで基板の表面に付着した汚れを落とします。プラズマ洗浄装置は従来、電極をワイヤーで繫ぐワイヤーボンディングと呼ばれる工程の前の洗浄、あるいは専用の樹脂でICチップを止めるモールディングと呼ばれる工程の前の改質に使用されるものです。

ですが、昨今では小型化かつ複雑化したチップの洗浄に対応しなければなりません。均一性が優れた洗浄装置が欠かせないということです。昨今ではスマートフォンやウェアラブル端末だけでなく、IoTやAIをはじめ新しいテクノロジーが誕生しました。デバイスの小型化また集積化もすすんでいます。

このことも受けて、より高機能のプラズマ洗浄装置が必要になっています。今後は例えば薄膜技術という非常に優れた技術を導入したものが主流になるかもしれません。

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