電場による加工が可能なプラズマ装置

製造現場などで用いられている装置の一つに、プラズマ装置と呼ばれるものがあります。これは科学的な現象であるプラズマを活用したもので、気体にエネルギーを加えることで電場を発生させるというものです。現在は基板の表面を洗浄するのに使われたり、酸化膜の除去や撥水膜の形成など様々な用途に活用されています。プラズマ装置を洗浄に使用する場合には、荷電粒子によって形成されたエネルギーが汚れを分解するという流れになります。

水を使わないため濡れると駄目になってしまう素材に使うことが可能です。加えて乾燥させる手間も必要ありませんから、工程を減らすことにもつながります。素材を乾燥させると表面に水垢が残ってしまうことがありますが、プラズマを活用したこの装置であればそもそも水を使用しないので水垢がこびりつくこともありません。プラズマ装置を使うことでアンカー効果と呼ばれるものも期待できます。

これは荷電粒子を含んだエネルギーによって表面を荒らすというもので、通常であれば平滑すぎて密着することが難しいような場合にも、しっかりと密着できるようになります。水を使わないという性質から、粉状の素材に加工を施すことも可能です。例えばパウダートリートメントと呼ばれる装置では、粉体やミクロサイズの電子デバイスに親水化を施すことができます。装置の中で撹拌させながらプラズマを発生させることで、効率よく親水性を付加させます。

規模によっては高周波利用申請なども必要になりますが、新たな可能性を見いだすことができる画期的な装置と言えるでしょう。プラズマ装置のことならこちら

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