低圧や大気圧のプラズマ洗浄装置

プラズマ洗浄装置と呼ばれる製品があります。低圧や大気圧のプラズマによる装置があります。先ずプラズマとはいったいどんなものか説明しましょう。物質は温度が上がるに連れ固体から液体、気体に変化します。

連続的なエネルギーを気体にかけることによってプラズマという状態が生じます。液体と固体と気体に次ぐ4番目の状態です。大気圧プラズマの装置について説明します。文字の通り大気圧の中でプラズマを起こす装置です。

この装置においてはその電極間の距離が短くなければいけない、つまり照射することができる距離が制限されます。また希ガスが要りますが、真空環境は不要です。一方、低圧プラズマの装置は真空環境でなければいけませんが、ガスは不要です。電極間の距離が離れていても照射することができます。

低圧や大気圧のプラズマ洗浄装置を使えば特殊な洗浄ができます。そのプラズマから作られた荷電粒子と呼ばれるものを含んでいるエネルギーが、対象製品の基板の表面の汚染物質を分解してくれます。アンカーという効果もプラズマ洗浄装置で得ることができますが、この効果としてプラズマから作られたエネルギーは基板表面の密着性を向上させます。表面改質もプラズマ洗浄装置で可能です。

酸素ラジカルがプラズマから作られますが、これは基板表面にぶつかって表面層の分子鎖を切ります。切られた分子鎖から官能基が生成されます。このことにとり表面改質が成されるというわけです。

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