プラズマ洗浄装置の特徴

物質表面をきれいにすることはコーティングの吸着力強化などに繋がるため、産業において非常に重要なプロセスと言えます。一方で、従来一般的に用いられていた洗浄プロセスの多くはその洗浄力が不十分なものが多く、化学洗浄を行った結果として洗剤の跡が表面に残ってしまいすすぎや乾燥を行っても最終的に洗剤の残りかすが付着してしまっている、という課題があります。そのような問題を解決してくれる存在として近年注目を集めているのが、「プラズマ洗浄装置」です。プラズマ洗浄装置では、従来のプロセスと違い有機汚染物質を使うことのない洗浄を実現できます。

これは、その特徴がガスを揮発させプラズマを生じさせることで表面をきれいにすることに由来します。それゆえに、ほとんど表面に何も残らない完璧と言っても過言ではない洗浄を可能にしてくれる存在こそがプラズマ洗浄装置です。しかも、その処理時間はわずか数分という点もメリットです。このように優れた特徴をもつプラズマ洗浄装置ではありますが、真空やプラズマの発生を妨げる対象物には適していません。

具体的な例としては、シリコンや布などがその代表です。そのため、それら物質に対しては、プラズマ以外の手段を使う必要があります。また、無機汚染についてもプラズマ洗浄には向いていません。無機汚染と有機汚染が混在する製品の洗浄を行う場合、湿式化学洗浄でプレ洗浄してからプラズマ洗浄するのがおすすめです。

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