プラズマ洗浄装置できめ細やかな表面処理が可能に

プラズマ洗浄装置は光学産業などで使われるもので、チップカードや電子基板をはじめとする半導体、電子デバイスなどの表面を洗浄する装置です。分子がイオン化する過程で、生まれた原子核や電子が半導体等の表面を叩くプラズマの原理を利用して洗浄を行います。チップカード等は表面を洗わないと、データの読み取りが悪くなる、油分で表面がはがれてしまうなどの問題が生じる場合があるので、定期的に洗浄を行う必要があります。従来の洗剤・薬液を用いた方法では汚れを落とす力に限界があり、完全に表面の処理を行えずに汚染された層が薄く残ってしまったり、乾燥後も洗剤のかすが残ってしまったりすることがありました。

プラズマ洗浄装置で洗浄すると、表面をガスプラズマ放電にさらして油膜やさび、その他の汚れを除去することができることに加えて、ガスを発生させて揮発させるのでそもそも洗浄時に乾燥させるという手間を省くことができます。また、プラズマ洗浄装置は洗える対象も広く、金属やセラミックはもちろん、プラスチックやバイオマテリアルなど多くの材質のものを洗浄することができます。ただし、真空やプラズマの発生を妨げるシリコンや布等の材質は、プラズマ洗浄に適さないため、注意が必要です。プラズマ洗浄を行うメリットとしては、洗浄能力の高さや浸透力の高さ、導入後の作業コストの低さなどが挙げられます。

卓上型のものもあるので、研究室やオフィスに設置することも可能です。

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