プラズマ装置の詳細を徹底解説

まず、プラズマ装置で使われている「プラズマ処理」とは、まず電極と呼ばれるところから出るビームからプラズマヘッドの先端から大気中に高密度プラズマを照射して、汚れている表面を叩きつけます。この際、汚くなっている表面はビームからの高いエネルギーで極限状態を保ち続けることになり高い密着率を生み出すのですが、これには高圧電源が必要です。そして高い密着度になった時、その表面に異物や油膜があったらプラズマ装置に使われている「プラズマ」というもので油膜や汚れなどを洗浄します。プラズマ装置は洗浄中、素材に応じたガスエネルギーを投入して、表面分子に複数主の官能基と呼ばれる物質を付着させるので洗浄をしても有害物質は排出されずにとても環境にやさしい洗浄装置となっています。

また、「プラズマ」とは電磁場と荷電粒子群がというものが相互作用する複合系のことで、固体と液体と気体のいずれとも異なる特別な性質を持つので、物質の第4の状態とも言われます。更に近年ではこの「プラズマ」が、より洗浄力を上げれるのか解明するために日々研究をされています。そして、このプラズマ装置によって使われる「プラズマ」は装置により大きく変わります。代表的なのは、真空マイクロ波プラズマ(表面波)、プラズマ真空高周波プラズマ(容量結合プラズマ)、大気圧プラズマです。

それぞれ、かかるコストの量や効果・適用性、均一性、洗浄できる材質などが変化します。

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