プラズマ装置とは、何か?

プラズマ装置とは、プラズマの力を使って基盤などの表面を洗浄する装置のことです。高圧の電源を使って電極と呼ばれるロッドからプラズマビームを出して基盤などの材料表面をたたきます。材料の表面はプラズマ装置から出るビームの高いエネルギーで官能状態を保ち続けることで高い密着性を生み出すのです。表面に異物や油膜などが存在する場合は、その異物や油膜などの汚れを洗浄してくれます。

素材に応じたガスエネルギーを投入することで、表面分子に復習の官能基を付与することが出来るので、分子からの密着を向上することが出来る環境にも優しい技術です。プラズマ装置と呼ばれるものには低圧と大気圧の二種類があります。大気圧プラズマは大気圧の環境下でプラズマを発生させる装置で真空環境を必要としません。低圧よりもイオン密度が高いという特徴があります。

電極間の距離を短くする必要があり、照射距離に制限があるのも特徴です。低圧プラズマは、真空環境を必要とします。容器内の分子密度が低いためガスを導入する必要がなくプラズマを発生させることができるのが特徴です。電極間の距離もある程度離しても照射が出来るため、照射対象の物体の形状に依存しない処理が可能となります。

プラズマ装置を使用する効果は、材料表面上の洗浄効果と密着効果を高めるアンカー効果と材料表面を改質する3つの効果が期待出来るのが特徴です。プラズマ化する気体の種類を変えることで、様々な表面処理が出来るのも特徴と言えるでしょう。

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