プラズマ装置の仕組みについて

プラズマ装置とは、物体の表面に強力な電力を流すことにより物体の表面をクリーニングする手法です。使用目的については、精密機器を取り付けて使用する基盤の洗浄に使用する機器で、基板に含まれている不純物を大気にプラズマを発生させることで基盤外に押し出します。つまり、物体をプラズマの力によりクリーニングすることが目的の装置です。この技術に似たものの中にプラズマクリーナーと言う装置があり、こちらも同様プラズマ装置の一つになります。

こちらの装置の仕組みは、大気中に静電気によるプラズマを発生させることで空気中に漂う物体を静電気を発生させる動力源に付着させるという仕組みです。このプラズマ装置の利点は、空気清浄機のように使用することが出来る点になり、モーターの力で空気を吸い込みフィルターで吸着させる手法の空気清浄機と比較すると静音であることです。プラズマ装置タイプの空気清浄機は、あくまで静電気にて吸着する仕組みであるため、モーターを高回転させる必要性は無く、静電気を発生させる手法も機器を摩擦させ静電気を発生させるものなど様々でいずれも空気を汚さないです。フィルターと言う概念が無く汚れはすべて静電気でプラズマ発生装置に付着するため、利用者は定期的にプラズマ発生装置のみをメンテナンスすればよいのでお手入れも簡単です。

ただ、プラズマ発生装置にはこの他にもクリーニング目的で生まれた装置があり、金属に大量の電磁場を当てることでコーティングを施す装置などもあり、汚れの付着を軽減させる電子部品のコーティングを専門とする機器もあります。

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です