プラズマ装置を徹底解説

プラズマ装置とは、ドライ洗浄で半導体や電子機器などを洗浄することで密着性を改善し、生産性や快適性、品質を大きく上げる洗浄機器のことを指します。この洗浄機器はより内部の構造が複雑化されている半導体の除去に貢献していることはもちろん、機器に使われているプラズマも多少ながら注目されていることもあり、近年では大きく注目されている洗浄機器となっています。プラズマ装置は多くの部分で活用出来るように、たくさんの種類があります。主な装置だと、小型洗浄装置や中型洗浄装置があります。

小型洗浄装置は大型と違いスペースを取らず軽いことが特徴で低コストなのも特徴です。対して中型洗浄装置は小型よりも大きなステージで作業効率が上がるほか、小型よりかは低コストではないものの、大型と比べれば低コストとなっています。また、最近有名になってきた大気圧プラズマ装置というのは大気圧状態でも放電による洗浄が可能で減圧設備が不要なことから、注目されつつあります。微細な汚れを落とすことで多岐に渡り、活用されているプラズマ装置ですが、実はプラズマという第4の物質があってこそ、微細な汚れを落とせる仕組みになっています。

このプラズマというのは電離によって生じた荷電粒子のことを指しており、自然でも人工的にも作ることが可能な物質です。また、意外にも雷や火もプラズマのグループになっていて、海外ではよく見れるあのオーロラもプラズマと言えます。

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